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玻璃基板从零到一,,,TGV为要害工艺
宣布时间:2024-06-12 阅读次数:15286

一、、、玻璃基板:先进封装的厘革,,,重新界说基板

(一)英特尔持续加码玻璃基板,,,高举封装工艺厘革旌旗

英特尔一直是玻璃基板领域的探索引领者。。。凭证三叠纪官网,,,早在十年前英特尔就最先寻找有机基板的替换品,,,并在亚利桑那州的CH8工厂投资十亿美元试生产玻璃基板。。。作为封装基板领域的探索引领者,,,2023年9月英特尔展示了一款功效齐全的基于玻璃基板的测试芯片,,,并妄想于2030年最先批量生产,,,该芯片使用75微米的玻璃通孔,,,深宽比为20:1,,,焦点厚度为1毫米。。。英特尔的新手艺不但仅停留在玻璃基板的层面,,,还引入了FoverosDirect(一种具有直接铜对铜键合功效的高级封装手艺),,,为CPO(Co-packagedOptics,,,可配合封装光学元件手艺)通过玻璃基板设计使用光学传输的方式增添信号,,,并联合康宁通过CPO工艺集成电光玻璃基板探索400G及以上的集成光学解决方案。。。英特尔与装备质料相助同伴睁开了亲近相助,,,与玻璃加工厂LPKF和德国�;�Schott配合致力于玻璃基板的产品化。。。另外,,,英特尔还带动组建了一个生态系统,,,已经拥有大大都主要的EDA和IP供应商、、、云服务提供商和IC设计服务提供商。。。

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英特尔以为玻璃基板有望成为下一代主流的基板材质。。。凭证ANANDTECH引用的Intel展示PPT,,,复盘芯片基板的开展历史,,,自1970年引线框架大规模使用于芯片封装后,,,英特尔以为半导体行业主流的基板手艺将会每15年改变一次,,,未来行业将会迎来玻璃基板的转变,,,而从有机板到玻璃基板的这个转变将在近10年爆发,,,同时英特尔也以为玻璃基板的泛起并不会马上完全取代有机板,,,而是会在未来一段时间内和有机板共存。。。

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玻璃基板、、、CPO工艺有望成为混淆键合以后的下一代先进封装工艺。。。凭证ANANDTECH引用的Intel展示PPT,,,英特尔以为基于玻璃基板、、、CPO将是先进封装下一代主流手艺。。。相比有机板和硅,,,玻璃基板的性能和密度均有提高,,,可以允许在更小的占用面积下封装更多的Chiplets,,,以此带来更低的整体本钱的功耗,,,让未来数据中心和AI产品获得大幅刷新。。。凭证未来半导体,,,英特尔研发的CPO也可以通过玻璃基板举行设计,,,从而实现使用光学传输的方式来增添信号,,,提高功率的同时降低本钱。。。

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(二)玻璃基板:质料与工艺的厘革

玻璃基板主要用来取代原先的硅/有机物基板和中介层,,,可应用于面板、、、IC等泛半导体领域。。。在现在的2.5D封装中,,,以较为主流的台积电的CoWoS封装为例,,,是先将半导体芯片(CPU、、、GPU、、、存储器等)通过ChiponWafer(CoW)的封装制程一起毗连至中介层(Interposer)上,,,再通过WaferonSubstrate(WoS)的封装制程将硅中介层毗连至底层基板上;其中,,,中介层(interposer)一般选用硅(COWOS-S)、、、有机物(COWOS-R)或者是硅和有机物的连系(COWOS-L)。。。

玻璃材质的引入可以取代原先的硅中介层和有机基板。。。玻璃基板直接使用玻璃中介层(GlassInterposer)实现芯片之间、、、芯片与外部的互联,,,使用玻璃材质本钱低、、、电学性能好、、、翘曲低等优点来战胜有机物材质和硅材质的缺陷,,,来实现更稳固、、、更高效的毗连以及降低生产本钱,,,有望为2.5D/3D封装带来全新的范式改变。。。

玻璃基板的3D封装方面,,,TGV及其相关的RDL将成为要害工艺。。。现在的3D封装中,,,以HBM工艺为例,,,其中的要害手艺包括TSV(Through-SiliconVias)、、、微凸点(Microbumps)、、、TCB键合(Thermo-CompressionBonding,,,热压键合)、、、混淆键合(hybridbonding)等;关于玻璃基板的3D封装,,,TGV(ThroughGlassVia,,,玻璃通孔)、、、铜孔的填充及其RDL将成为要害工艺。。。

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玻璃基板优势显著。。。凭证《玻璃通孔手艺研究希望》(陈力等),,,玻璃基板的优势主要体现在:

(1)低本钱:受益于大尺寸超薄面板玻璃易于获取,,,以及不需要沉积绝缘层,,,玻璃转接板的制作本钱约莫只有硅基转接板的1/8;

(2)优良的高频电学特征:玻璃质料是一种绝缘体质料,,,介电常数只有硅质料的1/3左右,,,消耗因子比硅质料低2~3个数目级,,,使得衬底消耗和寄生效应大大减小,,,可以有用提高传输信号的完整性;

(3)大尺寸超薄玻璃衬底易于获�。。�:康宁、、、旭硝子以及肖特等玻璃厂商可以量产超大尺寸(大于2m×2m)和超�。。。ㄐ∮�50μm)的面板玻璃以及超薄柔性玻璃质料;

(4)工艺流程简朴:不需要在衬底外貌及TGV内壁沉积绝缘层,,,且超薄转接板不需要二次减�。。�;

(5)机械稳固性强:当转接板厚度小于100μm时,,,翘曲依然较�。。�;

(6)应用领域普遍:除了在高频领域有优异应用远景之外,,,透明、、、气密性好、、、耐侵蚀等性能优点使玻璃通孔在光电系统集成领域、、、MEMS封装领域有重大的应用远景。。。

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泉源:惠投研报

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